Reaktif magnetron püskürtme, çok katmanlı bir kaplamada bir üst katman veya bir ara katman olarak geniş bir alt katman gamına ince bir bileşik katman yerleştirmek için olgun bir tekniktir. "İnce"nin kapsamı birkaç nanometreden birkaç mikrometreye kadar değişir.
Bir magnetron neden sıçrar?
Magnetron püskürtme, gelen parçacıklar ve hedefler arasındaki çarpışma sürecidir … Magnetron püskürtme, hedef katodun yüzeyinde bir manyetik alan oluşturarak ve kısıtlamalardan yararlanarak plazma yoğunluğunu arttırır. Püskürtme hızını artırmak için yüklü parçacıklar üzerindeki manyetik alan.
Reaktif püskürtme ne demektir?
Reaktif püskürtme, Plazma içine reaktif bir gaz (tipik olarak oksijen veya nitrojen) sokarak bileşiklerin biriktirilmesine izin veren bir işlemdir argon (en yaygın), ksenon veya kripton.
Manyetron püskürtme nasıl çalışır?
Magnetron püskürtme, üretilen ve biriktirilecek malzemeyi içeren bir boşlukla sınırlandırılan gaz halindeki bir plazmayı içeren bir biriktirme teknolojisidir - 'hedef'. … Bu çarpışmalar bir elektrostatik itmeye neden olur, bu da saçılan gaz atomlarından elektronları 'saldırır' ve iyonlaşmaya neden olur.
RF neden sıçrar?
RF veya Radyo Frekansı Püskürtme, belirli türdeki püskürtme hedef malzemeleri üzerinde bir yük birikmesini önlemek için vakum ortamındaki akımın elektrik potansiyelini radyo frekanslarında değiştirmeyi içeren tekniktir, zamanla damlacıklar saçan plazmada ark oluşmasına neden olabilir …
